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扩散泵

       油扩散泵是获得高真空的主要设备,被广泛用于真空冶炼、真空镀膜、原子能、空间模拟试验和对油污染不敏感的真空系统中。Varian公司作为全世界范围内领先的扩散泵供应商,为客户提供口径从2英寸到35英寸范围内各种扩散泵,是美国唯一的一个全系列的扩散泵供应商。产品具有大抽速,高排气量等特点。 适用于真空度在10-1~10-8mbar之间。
 


特点:
Ø    大抽速、大抽气量
Ø    抗辐射、抗氧化、快速循环.抗爆炸.
Ø    高前级耐压
Ø    高极限真空度
Ø    返油量极低
Ø    超常的使用寿命

 

扩散泵(AX,HS,VHS,NHS型号)参数对照
型号 AX-65 HS-2  VHS-4  VHS-6  VHS-250 
 抽速空气,L/s  65 160 750  1550  2125 
 最大前级耐压Torr/mbar
没有负载
有负载

0.75/1.0
0.6/0.78

0.55/0.72
0.4/0.52

0.65/0.86
0.55/0.73

0.65/0.85
0.55/0.72

0.65/0.85
0.55/0.72
 推荐前级泵抽速m3/hr  0.15/0.25  5.0/8.5  10/17  17/28.9  17/28.9
 返油率mg/cm2/min
标准冷带
2×10-4 1×10-3 5×10-4  5×10-4  5×10-4
 启动时间(min)  7  15  10  10  15
 电源  1ph,50Hz,
220V
 1ph,50Hz,
240V
 1ph,50Hz
240V
 1ph,50Hz,
240V
 3ph,50Hz,
240V
 功率  200/250 450   1450 2200   2200
 冷却水l/hr,15-26°C  N/A  0.1/20 0.15/30   0.25/50 0.25/50 
 
型号 VHS-10  VHS-400  HS-16  HS-32  NHS-35 
 抽速空气,L/s 3650  4500  6000  17300  28000 
 最大前级耐压Torr/mbar
没有负载
有负载

0.65/0.85
0.55/0.72
0.65/0.85
0.55/0.72
 0.65/0.82
0.55/0.72
0.50/0.65
0.35/0.45
0.55/0.71
0.40/0.52
 推荐前级泵抽速m3/hr  30/51  30/51  80/136  300/510  300/510
 返油率mg/cm2/min
标准冷带
5×10-4 1×10-3  1.5×10-3 7×10-4  5×10-4
 启动时间(min)  15  30  45  60  --
 电源  3ph,50Hz,
380V
 3ph,50Hz,
380V
 3ph,50Hz,
380V  
 3ph,50Hz,
380V  
 3ph,50Hz,
380V  
 功率  4400  4400  8100/9600  24000  24000
 冷却水l/hr,15-26°C  0.4/80 0.4/80   1.5/300  4.0/800 4.0/800 

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